AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme
Konferenz: Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14.10.2013 - 16.10.2013 in Aachen, Deutschland
Tagungsband: Mikrosystemtechnik 2013
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hau, S.; Marschibois, M.; Seidel, H.; Feili, D. (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbücken, Deutschland)
Inhalt:
Die Anzahl autarker Sensorsysteme zur Überwachung mechanischer Strukturen nimmt stetig zu. Um deren Energieverbrauch zu reduzieren kann der piezoelektrische Effekt zur Dehnungsmessung genutzt werden. Der Aufbau eines solchen Sensors auf einem Dünnglassubstrat und dessen Charakterisierung wird im Folgenden beschrieben. Als aktives Sensormaterial wird gesputtertes Aluminiumnitrid (AlN) eingesetzt. Um die Langzeitstabilität des Sensors zu gewährleisten wird Titan als Elektrodenmaterial und eine Passivierung aus Aluminiumoxid (Al2O3) eingesetzt.