Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung

Inhalt:
In der Halbleiterfertigung erfüllt die Automatisierung zwei zentrale Aufgaben. Zum einen sorgt sie für eine hohe Effektivität von Transport und Handhabung der sensiblen Substrate (Wafer, Masken, Carrier), und zum anderen stellt sie die Sauberkeit und Kontaminationsfreiheit von Substrat und Substratumgebung sicher. Insbesondere diese zweite Aufgabe führt zu anderen technischen Lösungen als sie aus Branchen bekannt sind, die keine Reinraumanforderungen zu berücksichtigen haben. Der Vortrag „Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung“ stellt eine beispielhafte Lösung für das Hand-ling und den Kurzstreckentransport von Wafercarriern vor. Sie ist für den Einsatz in Halbleiterfabriken konzipiert, die mit Waferformaten bis 200 mm arbeiten.