Ein neuartiger paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik auf Basis eines Anisotropen-Magnetoresistiven-Effekt-Magnetfeldsensors

Inhalt:
Ein neuartiger Gassensor, der die paramagnetische Eigenschaft des Sauerstoffs nutzt, um dessen Konzentration in einem Messgas über die Detektion einer Magnetfeldänderung zu bestimmen, wird vorgestellt. Das Entwicklungsziel dieses paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik auf Basis eines Anisotropen-Magnetoresistiven-Effekt (AMR)-Magnetfeldsensors ist eine genaue, langzeitstabile und preiswerte Lösung für stationäre und mobile Sauerstoffmessungen. Das Funktionsprinzip basiert auf der Konzentrationsbestimmung von Sauerstoff über dessen Einfluss auf ein externes Magnetfeld. Der Aufbau des Sensors ist bewusst einfach gehalten und verzichtet auf bewegliche Teile. Derzeitige Messungen mit einem Prototyp zeigen ein von der Sauerstoffkonzentration nahezu linear abhängiges Messsignal in einem Bereich von 0 bis 100 Prozent Sauerstoff.