Kapazitive Sensormessungen innerhalb eines piezogetriebenen Mikrosystems

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Mikrosysteme vereinen heute verschiedenste Aktuatoren, Sensoren und elektronische Komponenten auf kleinstem Raum. Dies stellt alle Komponenten vor immer höhere Anforderungen, besonders im Bereich der Abmessungen und Formenvielfalt. Das hier vorgestellte Mikrosystem besteht aus einer Kombination von 200V-Piezoaktuatoren, kapazitiven Sensoren und Elektronik. Die Elektronik setzt sich aus einem Hochvoltansteuerung-ASIC zur Ansteuerung der Piezoaktuatoren und einem Sensor-SPI-Schnittstelle-ASIC, der Kommunikation und Steuerung übernimmt, zusammen. Dieses Mikrosystem erlaubt die Messung kleinster Kapazitätsunterschiede und konnte durch die Integration in Mikrochips (ASICs) realisiert werden. In diesem Beitrag werden erste Messergebnisse präsentiert.