AlN basierte Sensoren auf Basis flexibler Substrate für energieautarke Sensorsysteme
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Grosser, Michaela; Braun, Timo; Seidel, Helmut; Feili, Dara (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbrücken, Deutschland)
Inhalt:
Mit Hilfe des reaktiven Magnetronsputterns konnte ein piezoelektrischer Sensor mit einer c-Achsen orientierten AlN-Funktionsschicht auf Polyimid hergestellt werden. Dieser zeigt in Abhängigkeit der verwendeten AlN-Schicht ein gutes und reproduzierbares Sensorsignal. Mit Hilfe von XRD Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass das Sensorsignal nicht allein von der AlN-Schicht sondern auch von weiteren Prozessschritten abhängt.