AVT bei normal geschlossenen, piezoelektrischen Mikroventilen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Menacher, M.; Zähringer, S.; N. Schwesinger (TU München, Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme, München, Deutschland)
Inhalt:
Für ein aktives piezoelektrisches Mikroventil wird die Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) beschrieben. Das Ventil arbeitet im Betriebszustand "normal geschlossen". Es besteht aus einem Fluidikteil, das Strukturen in Silizium enthält und einem Aktuatorteil aus Piezokeramik mit einseitig angeordneten Elektroden. Beide Teile werden mit Hilfe einer SU-8-Schicht in einem thermischen Kompressionsverfahren miteinander verbunden. Eine Dichtungslippe aus PDMS auf dem Ventilsitz sorgt für die Dichtigkeit des Ventilausgangs. Für die elektrische Kontaktierung werden Federstifte genutzt, die in Si-Durchbrüchen auf die Elektroden der PZT-Keramik aufgesetzt sind. Ein kommerziell verfügbarer Fluidanschluss dient der fluidischen Kontaktierung des Mikroventils.