Einsatz von Bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik als invers-konfokaler Sensor

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Konventionelle optische Messsysteme basieren auf separierter Projektions- und Kameratechnik. Der Einsatz von neuartigen opto-elektronischen Bauelementen - sogenannten bidirektionalen Mikrodisplays (BiMid) - verspricht ein großes Potential zur Miniaturisierung von Messsystemen. Diese Elemente ermöglichen die Kombination von OLED zur Lichterzeugung sowie Photodioden (PD) zur Detektion auf einem äußerst kompakten Bauelement. Eine erste Anwendung soll hierbei ein Positions- und Neigungssensor basierend auf dem Prinzip eines inverskonfokalen Sensors darstellen. Hierbei wird das von den OLED-Pixeln emittierte Licht in die Fokusebene abgebildet und die Reflexion von den integrierten PD detektiert. Befindet sich die Messebene im Fokus, so kann keine Energie detektiert werden, da das Licht in sich selbst zurückreflektiert wird. Bei axialer Verschiebung der Messebene wird Energie detektiert. BiMids ermöglichen auf diese Weise die äußerst kompakte Realisierung eines neuartigen invers-konfokalen Punktsensors, welcher als Positions- bzw. Neigungssensor angewandt werden kann. Dieser ist durch die CMOS-Struktur auf einfache Weise auf einen kompakten Flächensensor erweiterbar.