Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Inhalt:
Ein senkrecht auf einem Substrat angeordneter Mikrodraht hat zwei laterale translatorisch-rotatorische Bewegungsfreiheitsgrade. Die galvanische Abscheidung ermöglicht dessen platzsparende Fertigung in der Nano- bis Mikrometerskala. Diese Veröffentlichung zeigt die Dimensionierung eines neuartigen Inertialsensordesigns mit Drehraten- und Beschleunigungssensorfunktion und nur einer Inertialmasse. Zur Fertigung des Drahts mit 100 µm Länge und 3-6 µm Durchmesser ist XR Direkt LIGA vorgesehen. Erste Laborergebnisse eines Mehrschichtprozesses auf Basis von UV Direkt LIGA zeigen die Machbarkeit eines Technologiedemonstrators mit einem Kupfer-Mikrodraht von 400 µm Länge und 40 µm Durchmesser.