Methoden für die Automatisierte Handhabung von Biomaterialien für die Verwendung als Nano-Bonddrähte in der AVT

Inhalt:
Die Integration von Biomaterialien in Mikro/Nano-Sensoren oder Mikro/Nano-Systeme wird voraussichtlich nachhaltig zur Verbesserung dieser Systeme beitragen, sowohl als auch die Entwicklung neuartiger innovativer Systeme ermöglichen. Ein zentrales Problem, das vorher gelöst werden muss, ist die Entwicklung und Realisierung von Methoden für deren Präparation, Handhabung und Manipulation im Hinblick auf eine industrielle Verwertbarkeit. Damit eine solche Nutzung Entwicklung ermöglicht werden kann, müssen die Methoden automatisierbar, robust gegenüber Umwelteinflüssen sowie zur ausreichend guten visuellen Rückkopplung in ein Rasterelektronenmikroskop (REM) integrierbar sein. Entsprechend dieser Vorgaben, ist das Ziel der vorgestellten Arbeiten derartige Methoden für eine zukünftige Herstellung von nanoelektronischen Bauteilen zu entwickeln und Lösungsansätze für auftretende AVT Probleme auf der Nanometerskala zu geben. In dieser Arbeit und dem zugehörigen Vortrag wird ein neues Konzept für die Nutzung von Biomaterialien, wie zum Beispiel DNA oder Holzfasern bzw. Zellulosefibrillen, für die AVT vorgestellt. Teil davon ist die Vorstellung neuartiger Methoden für die DNA-Handhabung mit einem Rasterkraftmikroskop (AFM) unter trockenen Umgebungsbedingungen (Luftfeuchtigkeit < 20%), die auch in die der Vakuumkammer eines SREMs Verwendung finden sollen. Des Weiteren werden ein neuartiges System und eine Methode zur Handhabung von Holzfasern bzw. -fibrillen im REM präsentiert.