Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hoheisel, Dominik (Institut für Mikroproduktionstechnik, Produktionstechnisches Zentrum Hannover, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen, Deutschland)
Schultheis, Thanin; Reithmeier, Eduard (Hannoversches Zentrum für Optische Technologien, Leibniz Universität Hannover, Nienburger Straße 17, 30167 Hannover, Deutschland)
Schultheis, Thanin; Molella, Luca Spani; Reithmeier, Eduard; Rissing, Lutz (Institut für Mess- und Regelungstechnik, Leibniz Universität Hannover, Nienburger Straße 17, 30167 Hannover, Deutschland)
Inhalt:
Ein ferrofluidischer Mikroaktor für die elektromagnetische Ansteuerung eines adaptiven mikrooptischen Systems wurde entwickelt und mikrotechnologisch gefertigt. Der Aktor besteht aus Mikrospulenarrays mit denen die Position eines Ferrofluidtropfens in einem heißgeprägten Mikrokanal eingestellt wird. Durch die Verschiebung des Ferrofluids wird eine optische Flüssigkeit bewegt und bildet eine Flüssiglinse aus, deren Brennweite einstellbar ist.