Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E. (Institut für Halbleitertechnik, TU Braunschweig, Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
Ein Verfahren zur Herstellung hochtemperaturtauglicher piezoresistiver p-SOI-Messbrücken wird beschrieben und die druckunterstützte Silber-Sinter-Verbindungstechnik zum Aufbau der realisierten Sensoren ausführlich erläutert. Zudem werden Qualifizierungsdurchläufe (Temperatur-Lastwechsel) an aufgebauten Messbrücken vorgestellt, die für die Vibrationsüberwachung beim Hochleistungstiefbohren genutzt werden sollen.