Hochintegrierte optische Koppler und Resonatoren aus amorphem Silizium
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10.10.2011 - 12.10.2011 in Darmstadt, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Lipka, Timo; Amthor, Julia; Horn, Oliver; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Eißendorferstr. 42, 21073 Hamburg, Deutschland)
Inhalt:
Im Rahmen dieser Arbeit wurden photonische Basiskomponenten wie Koppler und Resonatoren mit verlustarmen amorphem Silizium hergestellt und materialspezifische Eigenschaften des Materials untersucht. Eine verbesserte Lichteinkopplung in sub-µm Wellenleiter konnte mit 3D-Tapern erzielt werden.