Energieeffiziente, miniaturisierte magnetoresistive Sensoren auf TMR-Basis für Anwendungen im Automobil

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TMR-Sensoren bieten aufgrund ihrer hohen Sensitivität und der geringen Größe große Vorteile für verschiedenste Anwendungen, beispielsweise zur Positions- und Geschwindigkeitsmessung. Daher arbeitet die Sensitec GmbH daran, TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen zu optimieren. Es wird ein Sensor entwickelt, der auf der klassischen Al2O3-Bariere aufbaut. Dieser Sensor zeigt einen maximalen TMR-Effekt von 42 % zeichnet sich aber besonders durch seine Kennlinie, die im linearen Bereich +/- 100 Oe ca. 10 % Amplitude und eine geringe Hysterese aufweist, aus sowie durch die minimale Leistungsaufnahme in der Größenordnung von 10 myW, welche neue Anwendungen, z. B. bei autarken Funksensoren ermöglicht.