Grenzflächendiffusion und Adhäsionsverhalten nanostrukturierter Epoxidharzverbunde in Sensorapplikationen

Inhalt:
Ziel des grundlagenorientierten Vorhabens ist es, ein tieferes Verständnis für das Eindringen von Feuchte an der Grenzfläche definierter Werkstoff-Kombinationen (Polymer/Elektrode) zu erarbeiten. Dieses Wissen ist wichtig für zukünftige Zuverlässigkeitsbetrachtungen von hochintegrierten Packages. Eine wesentliche Weiterentwicklung wird sein, neben den Untersuchungen des Volumendiffusions-Verhaltens, analoge Untersuchungen unter Einbeziehung von Grenzschichtphänomenen durchzuführen. Die dafür neu entwickelten Sensorstrukturen sollen die durch diffundierende Feuchte hervorgerufenen Änderungen der Dielektrizitätskonstante integral in einer Schicht oberhalb der Sensoren, wo Feuchtediffusion sowohl durch das Volumen als auch direkt entlang der Grenzschicht Polymer/Elektroden auftritt, erfassen. Im Weiteren soll untersucht werden, inwieweit transiente thermische Signale zur zerstörungsfreien, quantitativen und in-situ-Erfassung der durch Feuchte veränderten lokalen Adhäsion an relevanten Grenzflächen geeignet ist. Die dazu notwendigen Sensorstrukturen werden hierzu ebenfalls auf dem Demonstratorchip integriert, der dann realitätsnah zur Schädigungsdetektion verwendet werden kann