Fabrikation hochstabiler Mikrotaster zur Analyse von Mikrobohrungen

Inhalt:
Dieser Beitrag beschreibt die erfolgreiche Implementierung der Grundlagenuntersuchungen an piezoresistiven Mikrotastern aus dem universitären Forschungsumfeld in die Pilotproduktion einer wirtschaftsnahen Forschungseinrichtung. Qualitätsmerkmale, wie beispielsweise die Ausbeute und die Langzeitstabilität des Offsets der Piezoresistiven Brücken, konnten dabei signifikant erhöht werden. Die Basis dieses Technologietransfers bildet die im CiS Forschungsinstitut etablierte und im hochvolumigen Prototyping erprobte 4"-Wafer-Technologie zur Herstellung piezoresistiver Drucksensorchips.