Optimierung von piezoelektrischen Pumpaktoren für adaptive Linsen mit großer Apertur
Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik - 2. GMM-Workshop
10.05.2010 - 11.05.2010 in Darmstadt, Germany
Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Draheim, Jan; Kamberger, Robert; Burger, Tobias; Schneider, Florian; Wallrabe, Ulrike (Lehrstuhl für Mikroaktorik, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK), Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Germany)
Wallrabe, Ulrike (Freiburg Institute for Advanced Studies (FRIAS), Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Albertstrasse 19,79104 Freiburg, Germany)
Inhalt:
In dieser Arbeit werden multilagige piezoelektrische Ringaktoren für adaptive Linsen entwickelt. Die Linsenbrennweite ist über die Aktorspannung einstellbar. Zur Erhöhung des Brennweitenbereichs sowie zur Ansteuerung einer Linse mit vergrößerter Apertur werden anstatt monomorpher, multilagige piezoelektrische Aktoren mit größerem Pumpvolumen entwickelt. Es wurden Pumpen mit bimorphen Aktoren gefertigt, die ein Pumpvolumen von V(Pump) = 6,01 Mikroliter bei -40 V zeigen. Dies entspricht einer Steigerung um 73,7 % gegenüber dem vorherigen Design, monomorpher Ausführung.