Nanoporöse Goldkontakte für das Niedertemperaturbonden
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops
03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Oppermann, Hermann; Dietrich, Lothar; Klein, Matthias (Fraunhofer IZM Berlin, Germany)
Inhalt:
Es wurde eine Au-Ag-Legierung erfolgreich aus einem Elektrolyten abgeschieden und der offenporige Gold Nanoschwamm durch Ätzen hergestellt. Es gelang die Übertragung auf Siliziumwafer und die Strukturierung von Bumps. Erste Bondversuche zeigen, dass bei niedrigen Temperaturen und Drücken eine gute Verschweißung erreicht wird.