Großflächiges Mikrospiegelsystem zur Tageslichtlenkung
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Jäkel, Andreas; Li, Qingdang; Viereck, Volker; Hillmer, Hartmut (Universität Kassel, Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik, Fachgebiet Technische Elektronik und Center for Interdisciplinary Nanostructure Science and Technologie (CINSaT), Heinrich-Plett-Straße 40, 34132 Kassel, Deutschland)
Inhalt:
Das von uns vorgestellte Mikrospiegel Array dient der großflächigen Anwendung im Zwischenraum doppel- oder dreifachverglaster Isolierglasfenster. Das durch das Fenster fallende Licht wird mit elektrostatisch aktuierbaren Mikrospiegeln gezielt gelenkt. Zur Herstellung werden Depositions- und Strukturierungsverfahren verwendet, die bereits zur Displayherstellung großflächig eingesetzt werden. Neueste Ergebnisse zu Herstellung und Aktuation werden vorgestellt.