Entwicklung eines Herstellverfahrens für die rückseitige, elektrische Kontaktierung von mikrotechnischen Membran-Sensorelementen

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Mikrosensoren aus Silizium zur Erfassung von Stellwegen und Kräften basieren häufig auf dem piezoresistiven Sensoreffekt. Den konventionellen Aufbau eines dafür typischen Membranelements kennzeichnet eine elektrische Anbindung auf der Oberseite der Membran, wo sich auch die piezoresistiven Widerstände befinden. Am Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig wurde jetzt ein neues Herstellverfahren entwickelt, bei dem die elektrische Kontaktierung des Sensorelements zur Auswerteschaltung auf die Rückseite des Membranelements gelegt wird. Damit erfüllt der Sensor die Anforderung nach einer ebenen Oberseite ohne erhabene Strukturen.