pH- Messung mit Iridiumoxid-beschichteten Mikroelektroden

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Eine Vielzahl von Metalloxiden, wie IrO2, RuO2, PtO2 oder PbO2, zeigen pH-abhängige elektrochemische Potenziale und werden daher für pH-Messungen eingesetzt. Eine vielversprechende Methode zur Herstellung von kompakten pH-sensitiven Sensoren ist die galvanische Abscheidung von Iridiumoxid auf Mikroelektroden. Neben definierten Schichtdicken ist vor allem gute Haftung des Iridiumoxids auf der Mikroelektrode ein entscheidender Faktor für ein reproduzierbares Messverhalten. Um die Haftung von galvanisch abgeschiedenem Iridiumoxid auf Platin-Mikroelektroden zu verbessern, wurden unterschiedliche Methoden untersucht. Die Beschichtung der Mikroelektroden mit Titan führte dabei zum besten Abscheidungsverhalten bezüglich Reproduzierbarkeit, Haftung und definierter Einstellung der Schichtdicke. Die so hergestellten Sensoren weisen eine Super-Nernstsche pH-Empfindlichkeit von 73 ± 2 mV/pH im Bereich von pH 4 bis pH 9 auf.