Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Gatzen, Hans-Heinrich; Ruffert, Christine; Wurz, Marc Christopher; Flick, Eva (Institut für Mikrotechnologie, Produktionstechnisches Zentrum, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Inhalt:
Magnetische Mikrosysteme ermöglichen, eine Vielzahl von Wandlerfunktionen abzudecken. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über am Institut für Mikrotechnologie der Leibniz Universität Hannover entwickelte magnetische Mikrowandler. Beispiele für magnetische Mikrosensorik sind Mikrodehnmesssensoren, Längenmess- und Abstandssensoren sowie ein Hysterese-Messsensor. Mikroaktorische Anwendungen sind ein optischer Mikroschalter, ein linearer Mikro-Synchronmotor und ein in einem Schreib-/Lesekopf für Festplattenspeicher integrierter Mikroaktor. Die Datentechnik vertritt ferner ein magneto-optischer Schreib-/Lesekopf.