Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper Dünnfilme
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Flick, Eva; Gatzen, Hans Heinrich (Institut für Mikrotechnologie, Produktionstechnisches Zentrum, Leibniz Universität Hannover, An der Universität 2, 30823 Garbsen)
Feindt, Karsten (innomas GmbH, Werner-von-Siemens Straße 12, 98693 Ilmenau)
Inhalt:
Um eine qualitativ hochwertige Fertigung magnetischer Mikrobauteile sicherzustellen, ist es erforderlich, die Eigenschaften der darin eingesetzten magnetischen Dünnfilme entsprechend ihrer Spezifikationen zu gewährleisten. Dies gilt insbesondere für anisotrope Filme. Diese Veröffentlichung berichtet über die Entwicklung, Fertigung und Charakterisierung eines Mikrosensorchips zur messtechnischen Erfassung der magnetischen Hysterese bestehend aus zwei rechtwinklig zueinander angeordneten Sensoren. Dieses Messprinzip erlaubt die Erfassung der Eigenschaften magnetischer anisotroper Dünnfilme entlang beider Achsen.