Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis für zukünftige High-Tech-Produkte
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009
12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Lang, Klaus-Dieter (Fraunhofer Institut Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Berlin, Deutschland)
Inhalt:
Die Mikro-Nano-Integration hat in Systemen der Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Sensorik weltweit einen enormen Anstieg zu verzeichnen und besitzt eine nahezu unerschöpfliche Anwendungsvielfalt. Auch bislang elektronik- und mikrosystemtechnikferne Branchen, wie etwa die Nahrungsmittelindustrie, die Life Science-Industrie oder die Bekleidungsbranche nutzen Mikro- und Nanotechnologien für innovative Produkte. Bei der technischen Realisierung dieser hochwertigen, komplexen Systeme wird entsprechend der Anwendungsanforderungen oft eine Kombination aus System on Chip-Lösungen und Systemintegrationstechnologien wie „More than Moore“, „Heterogeneous Integration“ und „Smart System Integration“ genutzt. Aus technologischer Sicht sind 3D-Aufbautechniken auf Wafer- und Modulebene, sowie Einbetttechniken von aktiven und passiven Komponenten in Polymersubstrate zukunftsträchtige Lösungen.