Zuverlässigkeitsaspekte bei Nanoklettverschlüssen
Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops
12.03.2009 - 13.03.2009 in Seeheim, Germany
Tagungsband: Mikro-Nano-Integration
Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Stubenrauch, M .; Schwandt, M.; Hecht, S.; Kremin, C.; Fischer, M.; Hoffmann, M. (Institut für Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
‘Black Silicon’ als nanostrukturierte Oberflächenmodifikation des Siliziums kann als mechanisches Bondinterface in Analogie zum Klettverschluss angewendet werden. Das Verbindungsverfahren funktioniert bei jeder beliebigen Temperatur und benötigt keinerlei Hilfsstoffe. Um erste Daten zur Zuverlässigkeit derartiger Verbindungen zu gewinnen, wurde ein Wechselbelastungsprüfstand sowie eine Methode zur Probenpräparation entwickelt. Experimente zeigen Zyklenzahlen von mehr als 1 Million bei Wechsellasten von bis zu 80% der statischen Festigkeit. Damit kann von einer guten Langzeitstabilität der Klettverschlüsse ausgegangen werden. Alterung, Kriechen und Defektausbreitung können nahezu ausgeschlossen werden.