Monolithische Systemintegration in der Leistungselektronik

Inhalt:
Smart-Power ICs und Smart-Power Transistoren, d. h. monolithisch integrierte Halbleiterbausteine bei den Teilsysteme leistungselektronischer Schaltungen auf einem Chip integriert sind, werden seit Mitte der 80er Jahre des letzten Jahrhunderts in zunehmendem Maße in der Automobilelektronik sowie Industrie- und Konsumelektronik eingesetzt. Zu ihrer Herstellung werden abhängig von der Komplexität der zu integrierenden Schaltungen sowie den Strom- und Spannungsanforderungen unterschiedliche Technologien eingesetzt. Der Beitrag gibt eine Übersicht über die Grundprinzipien, die Möglichkeiten und Begrenzungen der verfügbaren Herstellungsverfahren sowie einen Überblick über die wichtigsten heute eingesetzten Smart-Power Produkte und Entwicklungstrends.