Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS
Conference: edaWorkshop 14 - Tagungsband
05/13/2014 - 05/14/2014 at Hannover, Germany
Proceedings: edaWorkshop 14
Pages: 7Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Nowak, Jacek (Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Deutschland)
Klaus, Jenny; Karolewski, Dominik; Sommer, Ralf (Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
Mit Hilfe einer durchgängigen MEMS-Entwurfsmethodik können die aktuellen Lücken beim Entwurf multiphysikalischer Systeme überwunden werden. Hierdurch werden weitere Perspektiven für die Entwurfsunterstützung von Sensor-Aktor-Systemen zur Verfügung gestellt. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über die Anforderungen und Lösungsansätze für einen integrierten MEMS-Design-Flow.