Mikropumpe mit integrierter Dosierkontrolle
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Goldschmidtböing, Frank; Witte, Holger; Schwarz, Stefan Udo; Geipel, Andreas; Doll, Alexander; Rabold, Martin; Woias, Peter (Universität Freiburg - IMTEK, Lehrstuhl für Konstruktion von Mikrosystemen, Freiburg, Deutschland)
Abstract:
Dieser Beitrag beschreibt ein integriertes Konzept zur Dosierkontrolle von Mikromembranpumpen. Ein der Mikropumpe nachgeschaltetes Reservoir mit flexibler Begrenzung ein zusätzliches Mikroventil ermöglichen eine Dosiermengenmessung und unterschiedliche Selbsttests des Dosiersystems. Das Konzept erlaubt die Integration dieser Dosierkontrolle in den Mikropumpenchip, da die zusätzlichen Komponenten Mikroventil und flexibles Reservoir in der gleichen Technologie gefertigt werden können. Der Aufbau und die unterschiedlichen Funktionsmodi des Dosiersystems werden vorgestellt.