Entwicklung eines Mikromanipulators auf Basis der Piezo-Technologie
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Götze, Holger; Pagel, Lienhard (Universität Rostock, Institut für Gerätesysteme und Schaltungstechnik, Albert-Einstein Str. 2, 18059 Rostock, Deutschland)
Abstract:
In diesem Paper präsentieren wir einen neuen piezoelektrischen Mikromanipulator auf Basis der Leiterplattentechnologie (PCB - Printed Circuit Board). Der Mikromanipulator bildet die Grundlage für einen Mikrogreifer und ein xyz – Positioniersystem. Es werden der Aufbau, die Struktur, die Funktionalität und die speziellen Eigenschaften des Manipulators beschrieben.