Design, Herstellung und Charakterisierung von SU-8 Cantilevern für AFM-Anwendungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 7Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Flämig, J.; Fülle, A.; Hammacher, J.; Saupe, J.; Zahn, W.; Vogel, J.; Grimm, J. (Westsächsische Hochschule Zwickau (WHZ), Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik, Dr.-Friedrichs-Ring 2a, D- 08056 Zwickau, Germany)
Abstract:
Die SU-8-Technologie gestattet es, hochpräzise miniaturisierte polymere 3D-Bauteile kostengünstig herzustellen, als Beispiel und Demonstrator dieser Technologie dient der SU-8-AFM-Cantilever als Alternative zum üblichen Material. Zumal SU-8 einfach zu prozessieren ist und eine hohe chemische und thermische Stabilität sowie gute mechanische Eigenschaften zeigt. Jedoch hängen diese sehr stark von den Prozessbedingungen ab: insbesondere von Softbaketemperatur, Belichtungsdosis und Art der Temperaturprozesse. So wurde ein optimierter Prozess zur Herstellung von freitragenden Biegebalken und weiteren mikromechanischen Bauteilen wie z.B. Chipträgern entwickelt. Die AFM-Cantilever wurden in verschiedenen AFM-Mikroskopen eingesetzt. Die dabei erhaltenen Scans wie auch die thermische Resonanz zur Bestimmung der Federkonstanten sind exemplarisch dargestellt.