Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen

Abstract:
In diesem Beitrag wird ein mikromechanischer Scanner zur Materialbearbeitung und für medizinische Anwendungen vorgestellt. Um den speziellen Anforderungen dieser Applikationen, wie geringe Verwölbung des Scanners und geringer Wärmeeintrag (d.h. hohe Reflektivität des Scanners) gerecht zu werden, wurden folgende Ansätze gewählt. Das Design mit einer runden Spiegelplatte und speziellen Torsionsfedern resultiert in einer minimalen Verwölbung von 10 nm über den Durchmesser von 2,2 mm. Als Reflexionsschicht wird eine Kombination aus Metallschicht und dielektrischem Bragg-Reflektor, bestehend aus SiO2/TiO2-Schichtpaaren, verwendet. Ein spezielles Abscheideverfahren ermöglicht eine spannungsarme Abscheidung der Einzelschichten. Hohe Reflektivitäten größer als 99,5% werden exemplarisch für die Wellenlängen 775 nm und 1064 nm demonstriert.