Adaptive Silikonmembranlinsen mit integriertem Piezo-Aktor
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schneider, F.; Müller, C.; Wallrabe, U. (Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik)
Ulmer, U.; Eberhard, D. (Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik)
Besser, H.; Pfleging, W. (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Materialforschung I)
Abstract:
In diesem Beitrag werden adaptive Flüssiglinsen mit dicken Silikonmembranen in einem Durchmesserbereich von 5 bis 15 mm vorgestellt. Die Membranen werden mittels Gießtechnik in einem Batchprozess gefertigt. Die Linsen verfügen über integrierte Piezobiegewandler, welche ebenfalls in Silikon eingebettet werden. Die hier vorgestellten Linsen erschließen Anwendungsfelder, die von den am Markt etablierten Electrowetting-Linsen (Durchmesser < 5 mm) nicht abgedeckt werden.