Thermische Strömungssensoren mit monolithisch integrierten Kanalstrukturen für die Messung von kleinsten Flussraten
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Buchner, Rainer; Sosna, Christoph; Benecke, Wolfgang; Lang, Walter (Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS), Microsystem Center Bremen, Universität Bremen, Otto-Hahn-Allee, 28359 Bremen, Deutschland)
Bhargava, Preety (Elmos Semiconductor AG, Heinrich-Hertz-Straße 1, 44227 Dortmund, Deutschland)
Abstract:
Eine neue Technologie zur Integration thermischer Strömungssensoren wird vorgestellt. Im Vordergrund der monolithischen Integration von Mikrokanälen auf dem Sensorchip steht die Messung kleinster Flussraten hinab bis zu 40nlmin-1. Der Sensor basiert auf einer Fertigungstechnologie, die ein Siliziumnitrid als abschließende Schutzschicht erlaubt, das durch einen Hochtemperaturprozess abgeschieden wurde. Die Messkanäle wurden oberflächenmikromechanisch hergestellt und bestehen aus SU-8. Um die chemische Stabilität zu erhöhen und hydrophile Oberflächeneigenschaften zu erlangen, wurden die Kanäle innenseitig mit Siliziumoxid und Siliziumnitrid beschichtet. Sensorsysteme wurden nach diesem Technologiekonzept hergestellt und charakterisiert.