Methode zur Berechnung des Einflusses mechanischer Verformung auf Funktionsparameter mikromechanischer Sensoren
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Rank, Holger; Heitz, Markus (Robert Bosch GmbH, Reutlingen, Deutschland)
Maas, Ramona (Robert Bosch GmbH, Stuttgart, Deutschland)
Mehner, Jan; Gessner, Thomas (Technische Universität Chemnitz, Chemnitz, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird eine Methode vorgestellt, welche die schnelle Bewertung komplexer mechanischer Einflüsse auf Funktionsparameter kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensorchips ermöglicht. Grundlage sind dabei die mit Hilfe strukturmechanischer Finite-Elemente-Simulationen (FE) ermittelten Verformungen des Sensorelementes. Daraus werden mittels FE-Modellen des elektrostatischen Feldraumes Änderungen von Elementarkapazitäten berechnet. Durch angefittete analytische Funktionen ist die schnelle Berechnung der Auswirkungen auf Funktionsparameter wie Nullpunktfehler und Empfindlichkeit möglich. Die Methode wurde anhand eines Vergleichs von Experiment und Simulation ausgewählter Lastfälle verifiziert.