Herstellung polymergebundener Hartmagnete durch in SU-8 eingebrachtes Magnetpulver
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Bedenbecker, M.; Gatzen, H. H. (Institut für Mikrotechnologie, Universität Hannover, Produktionstechnisches Zentrum, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Für die Herstellung von Permanentmagneten, die in Mikroaktoren zum Einsatz kommen, wird bisher vor allem physikalische Abscheidung aus der Dampfphase wie Kathodenzerstäubung genutzt. Dabei ist zum Teil eine zusätzliche Wärmebehandlung bei Temperaturen von über 500Grad C nötig, um die gewünschten Eigenschaften zu erreichen. Eine Alternative dazu bietet die Herstellung mittels in Photolack eingebrachter hartmagnetischer Pulver. Damit lässt sich nicht nur die Anzahl der Prozessschritte verringern, sondern auch die Prozesskompatibilität durch Vermeidung hoher Temperaturen erhöhen.