Mikro-Metallpulverspritzguss als innovatives Fertigungsverfahren in der Mikrotechnik

Abstract:
Mikro-Metallpulverspritzguss (μ-MIM) ist ein innovatives Fertigungsverfahren für die Herstellung von Mikrobauteilen, miniaturisierten Bauteilen und mikrostrukturierten Oberflächen. In diesem Beitrag wird gezeigt, dass das μ-MIM Verfahren genutzt werden kann, um Funktionen in Bauteile und Oberflächen zu integrieren, die in den verschiedensten industriellen Bereichen Einsatz finden. Die Funktionalisierung kann durch die Auswahl einer geeigneten Oberflächenstrukturierung geschehen und durch die Weiterentwicklung von Legierungen zur Anpassung von Materialeigenschaften erreicht werden. Dies wird am Beispiel der Mikrofluidik und der thermischen Ausdehnung im Ni-Fe System dargestellt. Eine Weiterentwicklung des μ-MIM Verfahrens bildet der Zwei-Komponenten-Mikro-Metallpulverspritzguss (2K-μ-MIM). Hier werden in einem Fertigungsschritt mehrere Werkstoffe mit unterschiedlichen Eigenschaften (z. B. magnetisch/unmagnetisch) kombiniert, um multifunktionale Mikrobauteile zu fertigen. Mögliche Einsatzgebiete finden sich dabei in der Sensorik (z. B. Positions- und Durchflusssensor) und in der Elektronik.