Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützte Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Guttmann, Markus; Winkler, Frank; Laier, Rupert; Schulz, Joachim (Institut für Mikrostrukturtechnik, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Nold, Eberhard (Institut für Materialforschung I, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Hielscher, Gerhard (Dr. Hielscher GmbH, Warthestr. 21, 14513 Teltow, Deutschland)
Abstract:
Innerhalb einer Verfahrensentwicklung wurde in Zusammenarbeit mit der Industrie der bisher wenig charakterisierte Fertigungsschritt der nasschemischen Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen (Formeinsätzen) von einem einfachen Laboraufbau in eine neuartige, fertigungstaugliche Reinigungsanlage überführt. Die hierbei durchgeführten Arbeiten, die Konzeption und Arbeitsweise der Anlage sowie die Untersuchungen zur Charakterisierung von Verunreinigungen werden in dem Beitrag ausführlich vorgestellt.