Evaluation von Ferrofluiden für hydraulische Aktoren
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schneider, F.; Hohlfeld, D.; U. Wallrabe (Lehrstuhl für Mikroaktoren, Institut für Mikrosystemtechnik, Albert-Ludwigs-Universität, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Vogel, W. (Institut für Elektrische und Optische Nachrichtentechnik, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 47, 70550 Stuttgart, Germany)
Abstract:
In diesem Beitrag wird der Aufbau eines auf Ferrofluiden basierenden hydraulischen Aktors vorgestellt und für die Mikrotechnik evaluiert. Das sich zwischen einer Silikon-Doppelmembran befindliche Ferrofluid wird durch ein oberhalb der Membran anliegendes Magnetfeld ausgelenkt und erzeugt dadurch unterhalb der Doppelmembran einen Unterdruck und eine Volumenverdrängung. Diese kann zum Pumpen weiterer Fluide genutzt werden. Der dabei im statischen Fall gemessene maximale Unterdruck des Aktors beträgt 930 Pa. Das verdrängte maximale Volumen ohne Gegendruck beträgt 10,7 myl.