Ein thermisch angetriebenes, schnelles pneumatisches 2/2 Wege Mikoventil
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Quenzer, H. J. (FhG-ISiT Fraunhofer Insitut für Siliziumtechnologie, Fraunhofer Straße 1, 255524 Itzehoe, Deutschland)
Günther, G.; Murrenhoff, Dr. (IFAS, Institut für fluidtechnische Antriebe und Steuerungen der RWTH Aachen, Steinbachstr. 53, 52074 Aachen Land, Deutschland)
Abstract:
In dem vorliegenden Beitrag wird ein thermisches Mikroventil für pneumatische Anwendungen vorgestellt, dass sich im Vergleich zu anderen thermischen Mikroantrieben, neben einem besonders kompakten Aufbau vor allem durch eine hohe Schaltgeschwindigkeit und einen niedrigen Leistungsbedarf auszeichnet. Bei einer max. Beriebsspannung von 5 V und einem Leistungsbedarf von ca. 700 mW konnte bei Eingangsdrücken von 7-8 bar Durchflüsse von ca. 1400 sccm erreicht werden.