Mikro-mechatronische Antriebe für hochdynamische und hochgenaue Positionieraufgaben

Abstract:
Der Trend zur Miniaturisierung ist nicht zu übersehen. Für die Herstellung und Prüfung von immer kleiner werdenden Werkstücken werden auch zunehmend kleinere Antriebe benötigt. Obwohl Mikrogetriebe bereits entwickelt wurden, weisen bisher verfügbare Lösungen verschiedene Nachteile auf. Hauptsächlich aufgrund ihrer Spielbehaftung sind die bisherigen Lösungen für präzise Positionieranwendungen, wie sie häufig in Präzisionsmaschinen gefordert werden, nicht geeignet. Das Micro Harmonic Drive(r) Getriebe hingegen ist ein spielfreies, hochuntersetzendes Getriebe, welches gezielt für präzise Positionieranwendungen entwickelt wurde. Dieses Getriebe wird mit dem Direkt-LIG Verfahren, bei dem es sich um einen vom bekannten LIGA-Verfahren abgewandelten Prozess handelt, hergestellt. In den drei Jahren seit der ursprünglichen Entwicklung hat dieses Produkt den Sprung aus dem Labor in praktische industrielle Anwendungen geschafft und findet weltweiten Einsatz in Maschinen der Halbleiterfertigung, Medizintechnik und optischen Geräten.