Treibmittel-Vakuumpumpe mit Integrierter Druckmessung in Mikrosystemtechnik
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Doms, Marco; Müller, Jörg (Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Mikrosystemtechnik, Deutschland)
Abstract:
Die erste in Mikrosystemtechnik realisierte Treibmittel-Vakuumpumpe wird vorgestellt, bei der ein Gas- oder Dampfstrahl hoher Geschwindigkeit die Pumpwirkung verursacht. Ausgehend von Atmosphärendruck konnten bisher eine Pumpleistung von mehr als 6.2 ml/min und ein absoluter Druck von 495 mbar abs. erreicht werden. Niedrigere Druckbereiche werden durch die vollständige Integration aller Systemkomponenten und die Verwendung unterschiedlicher Treibmittel zugänglich sein. Miniaturisierte Drucksensoren basierend auf dem Pirani Prinzip sind in die Pumpe integriert, um ihre Funktion zu kontrollieren und zu regeln.