Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kurth, Steffen; Mehner, Jan (Fraunhofer IZM, Abt. Micro Devices and Equipment, Reichenhainer Str. 88, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Kaufmann, Christian; Hahn, Ramon; Dötzel, Wolfram; Gessner, Thomas (Fraunhofer IZM, Abt. Micro Devices and Equipment, Reichenhainer Str. 88, 09126 Chemnitz, Deutschland )
Abstract:
Entwurf, Herstellung und Test eines mikromechanischen Scanners zur Horizontalablenkung für Laserdisplay werden in diesem Beitrag vorgestellt. Der elektrostatische Antrieb ist bei diesem Scanner von der Reflektorplatte getrennt. Dadurch bildet sich ein mechanischer Resonator mit zwei rotatorischen Freiheitsgraden mit gleichen Drehachsen. Die bei geeigneter Dimensionierung auftretende Amplitudenverstärkung beträgt in diesem Fall 50fach und wird genutzt, um eine relativ dicke und mechanisch stabile Reflektorplatte bei hohen Frequenzen um große Winkel auszulenken. Mit 380V Ansteuerspannung wird bei 24 kHz ??5,5Grad mechanische Auslenkung erreicht.