Mikrosensoren aus metallbeschichteten Kunststoffen
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Benz, D. (IZFM, Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik, Breitscheidstr. 2b, 70174 Stuttgart, Deutschland)
Kück, H.; Mayer, V.; Warkentin, D. (HSG-IMAT, Hahn-Schickard-Gesellschaft - Institut für Mikroaufbautechnik, Breitscheidstr. 2b, 70174 Stuttgart, Deutschland)
Abstract:
Aufgrund der elektrischen und mechanischen Eigenschaften von metallbeschichteten Polymeren, wie sie aus der MID-Technik (Moulded Interconnect Device) bekannt sind, besteht die Möglichkeit, Wandlerfunktionen direkt durch MID-Bauteile zu realisieren. Dieser innovative Ansatz wird am Beispiel von Beschleunigungssensoren, Neigungssensoren, Neigungsschaltern sowie Drehwinkelsensoren demonstriert.