Mikrooptischer Positionssensor

Abstract:
In der industriellen Automatisierungstechnik gehört die Messung von Bewegungen zu den elementaren Sensorfunktionen. Mit konventionellen Techniken lassen sich beispielsweise optische oder magnetische Sensoren realisieren, die eine speziell angepasste Maßverkörperung verwenden. Im hier beschriebenen Projekt wurde ein System entwickelt, das ohne derartige Hilfsstrukturen auskommt und Verschiebungen des Sensors auf fast beliebigen Oberflächen erfassen kann. Die Auflösung des Systems wird dabei von der Teilung eines optischen Gitters bestimmt, das sich innerhalb des Sensors befindet. Neben dem optischen Design bildete die Anwendung neuer mikrosystemtechnischer Verfahren den Schwerpunkt des Projektes. Die Miniaturisierung der optischen und elektronischen Bauteile ist eine unabdingbare Vorraussetzung zur Realisierung des Sensors. In diesem Zusammenhang entstand ein kundenspezifischer Schaltkreis zur Aufbereitung der Sensorsignale. Eine angepasste Auswertesoftware, die auf einer sehr schnellen Hardware implementiert ist, vervollständigt das System. In Demonstratoren konnte die Funktion nachgewiesen werden.