Zuverlässigkeitskonzepte von „Mikro bis Nano“ – Neue Anforderungen und Möglichkeiten der Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Michel, B. (Fraunhofer Micro Materials Center am IZM Berlin und Chemnitz)
Abstract:
In diesem Beitrag wird ein Überblick über die Zuverlässigkeitskonzepte und Methoden der Mikrosystemtechnik gegeben, insbesondere über neue Konzepte im Mikro-Nano-Übergangsbereich. Der Autor hat auf zahlreichen internationalen Konferenzen hierzu eingeladene Plenarvorträge gehalten und mehrere große internationale Konferenzen als Chairman oder Co-Chair organisiert und ist in mehreren Ländern und in der EU als Gutachter von Fachgremien zu Zuverlässigkeitsfragen im Mikro- und Nanotechnologiebereich tätig.