ESPI für MST und Life Sciences
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Foitzik, Andreas H.; Uhlig, Katja; Chrzumnicka, Ewa; Inwersen, Jan (TFH Technische Fachhochschule Wildau, Biosystemtechnik/Bioinformatik, Bahnhofstraße, 15745 Wildau)
Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Vogt, Thomas (HSE Hochschule Esslingen, FB Fahrzeugtechnik, Flandernstraße 101, 73728 Esslingen)
Abstract:
In dieser Arbeit stellen wir eine Messmethode vor, mit der man statische und dynamische Deformationen an i.) Mikrosystemen und ii.) biologischen Zellen im Bereich von lateral unter 1 µm und axial von ca. 3 nm quantitativ bestimmen kann.