Entwicklung und Optimierung der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Formeinsätzen
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 7Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Guttmann, Markus; Erdmann, Gunnar; Laier, Rupert (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Mikrostrukturtechnik, PF 3640, D-76021 Karlsruhe)
Winkler, Frank (Universität Karlsruhe (TH), Fakultät für Maschinenbau, Institut für Mikrostrukturtechnik, PF 3640, D-76021 Karlsruhe)
Abstract:
In Zusammenarbeit mit der Industrie wurde der Fertigungsschritt der nasschemischen, ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen (Formeinsätzen) vom Laboraufbau in eine neuartige, fertigungstaugliche Reinigungsanlage überführt. Nachfolgend wurden die anlagen- und mikrostrukturspezifischen Parameter, welche die Qualität der Reinigung beeinflussen, optimiert. Die hierbei durchgeführten Arbeiten einschließlich der rasterelektronenmikroskopischen Untersuchungen zur Charakterisierung der Reinigungsergebnisse werden in dem Beitrag ausführlich vorgestellt.