Vom Mini- zum Mikrogetriebe mit Hilfe der Direkt-LIG

Abstract:
Der Trend zur Miniaturisierung in der Technik, die am augenscheinlichsten in der Entwicklung der Mobilfunktelefone zu beobachten ist, zwingt dazu auch die entsprechenden Technologien zur Herstellung der immer kleiner werdenden Bauteile einzusetzen. Um diesen Trend folgen zu können, hat die Fa. Harmonic Drive AG in Limburg in Zusammenarbeit mit dem Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) das weltkleinste spielfreie Mikropräzisionsgetriebe, das Micro Harmonic Drive®, entwickelt. Diese erfolgreiche Zusammenarbeit führte im Jahr 2001 zur Gründung der Fa. Micromotion GmbH in Mainz, die sich auf die Entwicklung und Herstellung von Mikroantriebssystemen für hochpräzise und sehr dynamische Positionieraufgaben spezialisiert hat. Zur Herstellung der Zahnräder dieses Mikropräzisionsantriebs wird das Direkt-LIG Verfahren angewendet, welches eine verkürzte Variante des in der Mikrosystemtechnik seit den 1980ziger Jahren bekannte LIGAVerfahren ist. Durch die Verwendung des Direkt-LIG Verfahrens können die hohen Anforderungen an innovative Mikroantriebssysteme für Positionieraufgaben erfüllt werden. Neben der miniaturisierten Baugröße und dem geringen Gewicht sind dies vor allem die Eigenschaften sehr präzise und komplexe Bauteile für den Einsatz in hochdynamischen Bewegungsabläufen zu realisieren.