SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Last, A.; Reznikova, E.; Nazmov, V.; Simon, M. (Institut für Mikrostruktur Technik (IMT), Forschungszentrum Karlsruhe, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe)
Last, A.; Nazmov, V. (Institut für Mikrostruktur Technik (IMT), Universität Karlsruhe, Kaiserstraße 12, 76131 Karlsruhe)
Abstract:
Das Institut für Mikrostrukturtechnik an der Forschungszentrum Karlsruhe GmbH entwickelt refraktive Röntgenlinsen, die im LIGA-Verfahren hergestellt werden. Die Röntgenlinsen ermöglichen den Bau von hochauflösenden Röntgentomographen oder von Röntgenmikroskopen, die kleinere Details abbilden können als Lichtmikroskope, weil die Wellenlänge des Röntgenlichts viel kürzer ist als bei sichtbarem Licht. Als Linsenmaterial eignet sich der Negativresist SU-8 hervorragend. Dieses Material hat eine hohe Empfindlichkeit bei der Strukturierung mittels UV- oder Röntgentiefenlithographie, erlaubt die Strukturierung auch feinster Details und weist in den fertigen Strukturen eine hohe Stabilität gegen Röntgenbestrahlung auf.