Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Löchel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph (BESSY GmbH, Berlin, Deutschland)
Abstract:
Seit seiner Entwicklung Mitte der 80er Jahre des vergangenen Jahrhunderts ist das LIGA-Verfahren als mikrotechnische Herstellungsmethode bekannt. Es zeichnet sich vor allem dadurch aus, dass extrem hohe Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen in höchster Präzision hergestellt werden können. Neue Entwicklungen der letzten Jahre wie das Direkt-LIGA-Verfahren haben LIGA flexibler und kostengünstiger und damit für industrielle Anwendungen interessanter gemacht. Für viele potentielle Nutzer in der Mikrotechnik stellt es eine elegante Form zur weiteren Miniaturisierung dar, wenn herkömmliche Verfahren der Feinwerktechnik nicht weiter führen.