Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Wohlgemuth, Christian; Werthschüztky, Roland (Institut für elektromechanische Konstruktionen, TU-Darmstadt, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Abstract:
Zur Herstellung nachgiebiger Trennmembranen, wie sie bei mediengetrennten piezoresistiven Drucksensoren zum Einsatz kommen, wird ein neuartiges Verfahren vorgestellt. Durch die haftende und nichthaftende galvanische Abscheidung von Nickel wird eine Membranstruktur erzeugt. Die Verfahren dieses Prozesses sind so weit optimiert, dass eine Ausbeute größer 85 % an funktionsfähigen Trennmembranen erzielt werden. Die Optimierung bezüglich der Membrangeometrie erfolgt mit Hilfe einer rechnergestützten Entwicklungsumgebung. Im Gegensatz zu konventionellen Herstellungsverfahren für Trennmembranen ist die galvanische Fertigung batchprozessfähig. Im Rahmen des Verbundprojekts MATCHDRUCK sind solche galvanisch gefertigten Trennmembranen an miniaturisierten piezoresistiven Drucksensoren erprobt worden. Messungen an Labormustern bestätigen die Eignung dieses neuartigen Verfahrens.